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半导体集成电路洁净微环境室

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产品名称: 半导体集成电路洁净微环境室
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产品展商: 其它品牌
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简单介绍


半导体集成电路洁净微环境室  的详细介绍

半导体洁净室


洁净等级: Class 1/10/100


洁净室工程范围:洁净室内装、洁净室新风系统、风机过滤器单元、制程系统/制程管路、空间管理/共同管架、气体性分子污染物、(AMC)管控、洁净室排烟系统、极早期报警系统、电力系统、照明系统、自控系统

一般机电工程范围:气动系统、暖通系统、给排水系统、电力系统、厂务监控

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